EAN: 9783731511212

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Aufgrund eines Trends zur Miniaturisierung vieler MEMS-Bauelemente und somit auch der Kavernenvolumina von Inertialsensoren wird der Einfluss geringfügiger Veranderungen der Dampfungsatmosphare in Sensorkavernen auf die Zuverlassigkeit der Sensoren immer großer. In dieser Arbeit werden Mechanismen untersucht die sich auf die Druckstabilität von Gyroskopen auswirken und Gegenmaßnahmen vorgestellt. Ein Schwerpunkt liegt auf Desorptionsquellen sowie Gasdiffusionspfaden im Sensoraufbau. Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work mechanisms affecting the pressure stability of gyroscopes are investigated and countermeasures are presented. A focus is placed on desorption sources as well as gas diffusion paths in the sensor layer stack.

Produktinformationen zuletzt aktualisiert am
26.03.2026 um 11:18 Uhr

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