EAN: 9783863593957

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In dieser Arbeit wird ein laserbasiertes Verfahrens zur Herstellung piezoelektrischer Schichten aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) entwickelt. Die konventionellen Prozesse zur thermischen Nachbehandlung der Schichten werden dabei durch laserbasierte Trocknung Pyrolyse und Kristallisation ersetzt. Wesentliche Vorteile der Lasernachbehandlung sind ein ortsselektiver Energieeintrag der die Anwendung auf temperaturempfindlichen Substraten und Baugruppen ermöglicht sowie die Inline-Fähigkeit.

Produktinformationen zuletzt aktualisiert am
03.07.2025 um 14:29 Uhr

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