EAN: 9783863598594

Bilder-Quelle: discount24.de - Sport-Freizeit

Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.

Produktinformationen zuletzt aktualisiert am
27.12.2025 um 01:39 Uhr

Produktzustand:

Verfügbarkeit:

Versandkosten:

Sonderpreis: